DGIST, 中企 기술개발 돕는다
  • 김홍철기자
DGIST, 中企 기술개발 돕는다
  • 김홍철기자
  • 승인 2019.09.17
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소재·부품·장비 관련 기업 대상 ‘중앙기기센터’ 개방
中企 소재 대기업 검증 통과 지원… 공정 플랫폼·정밀분석
디지스트 중앙기기센터 첨단 분석 장비 모습. 사진 왼쪽부터 반도체소자 검사용마이크로스코프, BIO-TEM, 광전자분광표면분석기, 전자빔리소그래피 시스템.
대구경북과학기술원(DGIST)이 일본 수출 규제로 어려움을 겪는 소재·부품·장비 관련 기업의 기술 개발을 돕기 위해 첨단 연구 장비를 갖춘 ‘중앙기기센터’를 개방한다고 17일 밝혔다.

중앙기기센터는 국내 중소기업이 개발한 소재가 대기업 검증을 통과하도록 공정 플랫폼과 정밀 분석을 지원하는 시설이다.

국내 최고 수준 연구 플랫폼에서 소재·소자에 대한 검증, 분석, 실증 서비스를 제공한다.

센터는 반도체 소자 클린룸(FAB)과 실리콘계 반도체 공정, 마이크로 가공, 계측 시뮬레이션 및 나노·바이오 분석을 위한 공용장비 등 170여 대의 최첨단 장비를 보유하고 있다.

현재 센터에는 반도체 미세박막용 전구체 제조기업에 TEM(투과전자현미경)을 활용한 극미세 나노 분석기술을 제공하고 대기업과 해외기업에 납품하기 위한 유효성 테스트를 진행하고 있다.

반도체 블랭크 마스크 소재 제작 유망기업에 대해서는 최신 구조·성분·분광 분석을 제공하고 있다.

일본 수출규제로 이슈가 된 포토레지스트 개발 기업에는 테스트베드를 제공해 국산화를 돕고 있다.

디지스트는 기술자문단도 꾸려 기술지원을 진행한다. 기술자문단은 기술분과 4개(소재분과, 로봇·자동차·장비분과, 정보통신기술·분과, 생명·바이오분과)와 분석·실증분과 1개로 운영한다.

자문위원으로는 디지스트 소속 182명의 교수·연구원·기술원이 참여한다.

기술자문단은 전용 홈페이지를 통해 기업의 애로기술을 접수해 관련 분과와 연구자를 연결, 기술 진단과 1대 1 현장 중심 기술 자문을 진행한다. 산·학 협력 인턴십 프로그램과 개선기술에 대한 특허 컨설팅도 지원한다.

국양 디지스트 총장은 “우수한 연구인프라시설 활용과 특화연구 분야 자문을 통해 기업이 어려움을 극복할 수 있도록 최선을 다하겠다”고 말했다.


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