유기-무기 하이브리드 유전층 통한 고효율 트랜지스터 개발
정대성 포스텍 교수 연구팀
2023-02-06 조석현기자
포스텍은 정대성<사진> 교수 연구팀이 아자이드 작용기를 가진 아세틸아세토네이트를 사용해 조밀하고 결함이 없는 박막 형태의 유-무기 하이브리드 트랜지스터를 개발했다고 6일 밝혔다.
연구팀이 개발한 방법에 따르면, 누설 전류를 감소시켜 저전력으로도 구동이 가능해졌다.
또한, 우수한 물성의 유전체를 손쉬운 공정 방법인 용액공정을 통해 제조할 수 있어 박막트랜지스터의 제조 비용을 줄일 수 있다.
뿐만 아니라 저온 열처리가 가능하므로 유연성이 있는 기판 위에서 제조도 가능하게 됐다.
정대성 교수는 “효율적이고 안정적인 박막트랜지스터의 개발로 플렉시블, 웨어러블 디바이스와 같은 차세대 플렉시블 전자소자의 구현이 가능해졌다”며 “신규 산화물 반도체 소재를 이용해 메모리, 디스플레이 등 다양한 산업의 기반 기술 개발에 기여할 수 있을 것으로 기대한다”고 말했다.