포스텍은 이학교 박사과정 이한보람씨(28세·사진 왼쪽)가 최근 미국 보스턴에서 열린 미국 재료학회(Material Research Society) 학술대회에서 최우수 포스터 논문상(Best Poster Award)을 수상했다고 6일 밝혔다.
　이한보람씨 팀은 포항방사광가속기를 이용, 금속 원자층박막증착법(metal atomic layer deposition)으로 증착(蒸着)된 코발트박막의 초기 박막의 초기 핵생성 및 성장을 분석해낸 논문을 이 학술대회에서 발표해 많은 주목을 끌었다.
　원자층박막증착법은 입체적인 구조에 아주 얇은 박막을 형성시킬 수 있는 기술로서, 특히 수십 나노미터(nm)의 크기를 갖는 반도체 소자 제조에 필수적인 요소인데 현재 활발하게 연구가 진행 중인 분야다.
　그러나 이 분야에서 수 나노미터 미만의 금속박막의 초기 거동은 현재까지 거의 보고된 바가 없을 정도의 `미지의 세계’였다.
　이 같은 연구결과를 통해 이씨 연구팀은 “금속 원자층박막증착법으로 증착 가능한 새로운 물질과 공정 개발의 원천기술 확보 및 보다 작은 사이즈의 반도체 소자 제작을 가속화시킬 것으로 기대된다”고 설명했다.
　이번 대회에서는 약 2000여편의 논문이 포스터 형식으로 발표되었으며 그 중 단 14편이 최우수 포스터 논문상을 수상했다.  /김달년기자 kimdn@